等离子体是一种聚集态物质，其所拥有的高能电子同油烟中的分子碰撞时会发生一系列基元物化反应，并在反应过程中产生多种活性自由基和生态氧，即臭氧分解而产生的原子氧。活性自由基可以有效地破坏各种病毒、细菌中的核酸，蛋白质，使其不能进行正常的代谢和生物合成，从而致其；而生态氧能迅速将油烟分子异味气体分解或还原为低分子无害物质。
运水集气（烟）罩的设计原理是形成水幕循环，与油烟碰撞后达到净化油烟的目的。影响运水集气（烟）罩使用效果的关键是要形成连续的水幕，并需要对循环水系统进行定期清理。实际上由于管理不善，目前大部分运水集气（烟）罩无法形成连续水幕，而只是形成了断续流动的水滴或小水柱，因此使用效果非常差。
使用运水集气（烟）罩的优点是能够在集气（烟）罩处除掉部分油烟，减轻油烟净化设备的处理负荷，提高系统的净化效果。但如果运水集气（烟）罩的过烟缝隙较窄，排烟管道净化工程，容易引起排烟系统不通畅。
集气罩的设计对于排烟系统具有重要的影响。集气罩设计不合理就很容易造成整个排烟系统不畅。引起排烟系统不通畅的因素有：1）油板间或者运水集气（烟）罩缝隙过小，这种情况较多；2）烟罩内收集油烟的开口总的截面积太小而引起整体排烟不通畅；3）开口分布不合理或是开口没有随着与主管道的距离增大而增大，从而引起局部排烟不通畅；4）集气（烟）罩上面的集烟管道截面积太小，导致出烟不通畅。
油烟废气首先经过一定数目的金属格栅，大颗粒污染物被阻截；然后经过纤维垫等滤料后，颗粒物由于被扩散、截留而被脱除。通常选用的滤料材料为吸油性能高的高分子复合材料。这种设备投资少、运行费用低、无二次污染、维修管理方便；但阻力大、占地大、需要经常更换滤料的缺点。净化效率一般在80~92%。
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